关于 刻机 的文章

光刻分辨率和树脂的关系：树脂越纯越透，光刻分辨率越清晰。光刻加工分辨率直接关系到芯片特征尺寸大小，而光刻胶的性能关系到光刻分辨率的大小。限制光刻分辨率的是光的干涉和衍射效应。光刻分辨率与曝光波长、数值孔径和工艺系数相...